福岡大学 工学部 電気工学科　電力・プラズマ研究室

アモルファス炭素膜形成の制御

　炭化水素分子をプラズマ中で分解して形成した膜は様々な分野で使われ, 今後もその用途は広がっていく。そこで, 原子レベルで制御して膜を形成し, その膜の特性を調べる。

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水素プラズマによるSi基板への水素注入

　金属など材料に水素が侵入するともろくなり（水素脆化）, 鉄橋等の構造物の破壊につながる。一方, 水素を表面近くに入れておくと, それ以上水素が入らず構造物の寿命が延びるとの報告もある。シリコンに水素を導入した場合, 水素が結晶中にどのように入っているのか, 実際に割れにくくなっているのかを調べる。

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新たなスパッタ源による成膜
HIPIMS(高パワーインパルスマグネトロンスパッタリング)

　最近, 注目されている新たなスパッタリング法であるHIPIMSでの成膜を原子レベルで行うために, 放電開始特性, 放電特性, 膜形成の特徴を, 気相から固相に至るまでトータルに調べる。

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二波長分光診断による放電プラズマの分析

　放電プラズマの基礎特性は, それらを利活用する分野で重要なデータとなる。非接触による二波長分光診断を用いることで, 放電プラズマ中の微細な基礎特性分布を導出する。

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大気圧混合ガス中の荷電粒子スウォームパラメータの計測

　近年, 大気圧中に発生させたプラズマを用いた研究や応用が盛んである。そのようなプラズマは空気と混合した状態で利用される場合があるため, 空気との混合ガス中の基礎特性を理解することは重要である。
　この研究では, 大気圧プラズマ中の荷電粒子スウォームパラメータの計測を行う。

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卒論おしらせ　Notice

2021年度卒論研究テーマ
1 プラズマCVDを用いたモルファス炭素膜の成膜メカニズムの解明
2 HIPIMSを用いた炭素膜の成膜メカニズムの解明
3 大気圧プラズマを用いたバイオ応用の検討
4 ナノバブル・液中プラズマの生成とその反応解析
5 レーザパルス誘導法及び分光画像診断による放電プラズマの基礎物理特性の計測