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福岡大学 工学部 電気工学科 電力研究室

〜プラズマ-表面相互作用, プラズマを用いたデバイス創生の研究〜



ご挨拶Greetings
 


 福岡大学工学部電力研究室では、とくにプラズマの利用に注目しております。これまでも、現代において様々なプラズマが利用され、現代社会を構築する不可欠なツールとなってきました。今後は、これまで以上にプラズマを制御することが求められます。そこで、プラズマによりどのようなことが生じるのかを原子・分子レベルで理解し、その上で、原子レベルのプラズマ制御法の開発を行っています。


卒論おしらせ Notice

研究テーマ
1. 炭化水素プラズマによる炭素膜の形成
2. 大電力パルスマグネトロンスパッタリングによる膜形成
3. 水素プラズマによるシリコンへの水素注入
4. 2波長分光画像診断法による放電プラズマの電界分布の導出
5. Air/Ar混合ガス中の水分が与える荷電粒子スウォームパラメータへの影響

研究内容紹介ファイル(pdf)

お知らせ・更新歴 Update History Information

2020.07.06:佐世保工業専門学校との共同研究の打合せに参加しました。
2020.06.10:TOPページ更新しました。
2020.04.27:卒論生11名が配属されました。
2020.04.--:卒論テーマの研究内容をアップしました。
2020.04.--:電力研究室HP立ち上げました。

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